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发布时间:2021-11-19 21:14:00 作者:吴江程运自动化
热风循环烘箱真空度达不到怎么办?
热风循环烘箱的操作在各种试验中都比较简单,但在使用过程中也可能遇到各种情况。今天,我将集中讨论在使用热风循环烘箱的过程中,如果没有达到真空度,如何处理它。
1.真空泵没有启动。首先检查真空泵是否接通;然后找到真空泵的真空油位观察窗口,看看是否有真空油,如果没有真空油,则需要在真空泵停止时加热真空油;之后看看真空泵的按钮开关是否打开。
2.门密封不严漏。热风循环烘箱的门密封硅橡胶带使用时间长,不能按外玻璃门产生间隙,这种故障只能联系厂家购买同类密封条并更换。
3.真空箱焊接时的漏风。关闭真空箱门,打开真空泵并将其真空,然后用矿泉水瓶装肥皂水在热风循环烘箱的焊接点挤压肥皂泡,以确定肥皂泡沫是否被吸进真空箱的内腔。
高温烤箱,采用优l质硅酸铝岩棉保温;具有结构牢固,重量轻移动方便,保温性能好;内箱采用1.5mm厚SUS304#镜面不锈钢,外箱用2.0mm厚冷扎板高温粉体烤漆;恒温控制系统和超温报警保护系统,确保设备安全生产。
高温烤箱的技术性能:
1、电源:电压380V、三相五线制,总功率120KW/台(可根据需求订制);
2、温度:高温工业烤箱工作温度为室温+80℃至600℃,升温及降温速率可单独设定。温度任意可调,并可在任意温度点自动恒温;
3、高温烤箱采用三面运风方式,烤箱内壁进、排气口为冲孔式结构,烤箱内热风在内部左右两侧及底部流出,自内顶部回流形成循环流动,恒温后左右两侧的温差在±2%以内;
热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的?
1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力,防止显影时间的延长,防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。风源由循环送风电机(采用无触点开关)带动风轮经由加热器,而将热风送出,再经由风道至烘箱内室,再将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环,加热使用。首先,采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油,将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面,然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下,光刻胶表面均匀分散,去除多余的光刻胶,获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度,预干燥由于溶剂缓蚀剂作用,在80℃的硅片上,防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体,干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。
2、掩码对齐
由于集成电路的制造过程是吴层的过程,所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管,有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱,因为不管烘箱什么结构,风向水平还是垂直,归根到底都是热风在里面循环,所以都可通称为热风循环烘箱,如电热鼓风烘箱,对开门高温灭菌烘箱等。9、保护装置:烤箱具有漏电(短路)保护,相序缺相(错相)保护,电机过载(过流)保护,超温断电保护。掩模和晶片可以对齐在晶片上。
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