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烘箱介绍及其注意事项

仪表控温的热敏元件探头应从左侧线路的测温孔中插入工作室内,不得从箱顶气阀中心孔插入，以免影响使用。

本干燥箱初次使用时，应请勤加以观察，避免过热烘坏工件，造成损失。

使用如感到热惯稍大时，可关闭一组加热器以降低发热功率，防止惯性过大造成超温。

取入烘烤物件：请勿撞击伸入工作室的控温器部份，防止损坏控温器导致失灵。

本箱在没有说明“防爆烘箱”的情况下切忌烘烤易曝，容易橪烧及挥发性的物品，以防曝炸。

如遇故障，请电工检修。

热风循环烘箱工作原理

箱体的温度控制采用了GCD一23 A型智能电脑温控和PLC自控系统，温度信号的采集用铂电阻，经温度控制器的放大与设定值进行比较得到PID控制信号，同时PLC程控器输出控制信号控制固态继电器SSR导通，固态继电器再控制加热器加热，使箱体处于升温除湿阶段。热风循环烘箱主要特点热风循环烘箱特点：1、热风在烘箱内循环，热效率l高，节约能源。当温度达到设定值时，温控仪输出PID控制信号PLC，PLC输出控制信号给时间继电器KT，使其开始保温计时，同时，关闭进风机和排风碟阀。通过PID控制电加热不断启闭，箱体处于热风循环保温灭菌阶段。

高温烤箱的发热原由

高温烤箱在正常工作时，一般很容易造成热量的损失，比如通过烤箱外部表面散失的热量，加热物料及输送物料移动部分所需的热量，加热所需的热量，加热补充新鲜空气所需的热量，物料出入口及门缝散失的热量，对以上各部分热量进行相加。

现在，用高科技打造的高温烤箱隔热保温材料，高温烤箱新型的保温隔热涂料，耐温高，耐温1800℃，即得烤箱正常生产时所需的热量。但是现在国内高温烤箱的保温隔热材料性能不是很好，烤箱热能利用率偏低，热量散失严重。

对高温烤箱热量可保持90%不散失，对低温物体可有效保冷并能抑制环境辐射热而引起的冷量损失，可防止冷凝水的发生。ZS-1隔热保温涂料还兼有绝缘耐磨、耐酸碱，重量轻、施工方便等特点。

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{+*/}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。热风循环烘箱工作原理当保温灭菌时间达到设定值时，时间继电器输出信号给PLC，PLC输出全闭电加热，开启水冷却电磁阀，使其吸合导通，从而箱体处于冷却降温阶段。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。另将一支普通水l银温度计插入排气阀中，（排气阀中的温度计是用来校对电接点水l银温度计和观察箱内实际温度用的）打开排气阀的孔。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。